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eArctic AS600DMTXB
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AS600DMTXB型
PVD離子鍍膜設備可以用于沉積DLC
類金剛石涂層以及常規(guī)的硬質
涂層，技術規(guī)格如下：
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真空室尺寸 |
Ø1000mm * H1000mm |
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均勻可鍍區(qū) |
Ø600mm * H600mm |
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極限真空度 |
3.0*E-4Pa |
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壓升率 |
0.2Pa/hr |
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冷卻水 |
6ton/hr |
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占據(jù)空間 |
4.5*4.0*3.5 |
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抽氣系統(tǒng) |
粗抽泵+羅茨泵+分子泵+前級泵 |
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真空檢測 |
復合真空計+薄膜真空規(guī) |
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工藝氣體MFC |
4路 |
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轉架 |
可移出式下轉架（4軸、5軸、6軸、8軸任選） |
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4G-CAE®電弧 |
最多9套（3列*3套/列） |
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磁控濺射 |
最多6套（平面靶或柱狀靶） |
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GIS氣體離子源 |
1套 |
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偏壓電源 |
1套 |
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Smart智能源擋板 |
1套，實現(xiàn)鍍膜前的靶材預清洗 |
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加熱系統(tǒng) |
500度，3根熱電偶監(jiān)測 |
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冷卻水循環(huán)系統(tǒng) |
配日本SMC水流開關，智能控制 |
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電氣元件 |
日本歐姆龍PLC、端子、施耐德等空開、接觸器 |
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